磷化铟单晶炉（VGF)
主要参数
腔体参数
● 形式：立式
● 适配晶体尺寸：6英寸
● 设计压力：5MPa（遵照《中华人民共和国国家标准·压力容器》（GB150.1～150.4-2011）执行，乙方提供全套压力容器设计资质及相关证明文件）
● 机械安全阀开启压力：3.5MPa
● 腔体水冷：采用螺旋结构冷却水路，冷却均匀高效
● 工艺压力：2.75MPa
● 端盖锁紧：配备专用锁紧工具，采用手动锁紧方式，密封可靠
● 高压腔过压保护：配置高精度安全阀，实现过压自动保护
● 旋转角度：可旋转45°-90°，便于操作和维护
加热炉参数
● 升、降温速率：根据设定温度与实际温度的温差自动调节，适配不同工艺需求
● 控温段数：5段，控温精度高，热场均匀
● 炉丝布置方式：螺旋缠绕抽头方式，加热均匀，使用寿命长
● 加热电极：加热电极穿过法兰，已做耐高温绝缘处理，杜绝漏电隐患
温度控制
● 最高工作温度：1300℃
● 升温速率：0-15℃/min，可按需调节
● 报警检测：具备异常情况报警功能，发出声光报警信号，及时提醒操作人员排查故障，保障设备及人员安全
● 控制方式：计算机+PLC+高精度智能温控器，实现自动化精准控温，支持GEM/SECS通讯，可与EAP系统对接，支持远端工艺下载
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