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磷化铟VGF单晶炉

磷化铟单晶炉(VGF)

VGF 单晶炉采用高压生长工艺,设备运行工作压力稳定维持在 5MPa 左右,主要应用于磷化铟等半导体单晶材料的制备生产。

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