卷对卷薄膜连续生长CVD
主要参数（可按要求定制）
● 工作温度：1020~1050℃
● 恒温区：1000mm，五段控温
● 工艺管材质：石英管
● 工艺管内径：Ф250mm
● 铜箔宽度：200mm
● 铜箔运行速度约：100-400mm/min，可调
● 极限压力：<3Pa，可恒压控制
主要特点
● 石墨烯薄膜生产能力（产业化）设备
● 宽幅卷对卷连续生长
● APC系统：真空蝶阀自动控制
● 碳源等工艺气体MFC控制
● 薄膜制备过程全自动控制
● 三腔室结构
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