真空合金炉
主要参数
● 类型：单管卧式结构
● 送料方式：手动或自动
● 炉体移动：自动控制（炉体具有移开腔室自动关门功能）
● 工作温度范围：300~1000℃
● 温度区：>300mm
● 温度区域精度：±1℃
● 升温速率：≥15℃/min
● 降温速率：>3℃/min
● 4、6寸石英舟：装料量>50件
● 腔室冷却方式：腔室底部风冷
● 真空度：优于1×10⁻³Pa（冷态）
● 真空室泄漏率：≤0.667Pa/h（冷态）
● 抽真空时间：≤15分钟（启动时）≤5分钟（高真空工作状态）
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