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铌酸锂液相外延炉

铌酸锂液相外延炉

铌酸锂液相外延炉

铌酸锂液相外延炉专为铌酸锂基薄膜外延生长研发打造，依托液相外延工艺实现高质量单晶外延层精准制备，可完成铌酸锂衬底外延膜层沉积、改性层生长等核心工序，广泛应用于高速光调制器、光滤波器、光波导、集成光子芯片等高端光电子元器件研制生产，同时适配各类铌酸锂基光电功能晶体材料的制备加工，是铌酸锂光电产业核心工艺装备

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