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液相外延炉
LPE设备(Liquid Phase Epitaxial)是一种在液相中生长薄膜晶体的设备主要用于化合物外延膜的液相外延生长,YIG、RIG磁光铁氧体单晶材料生长等是光电子器件研制、生产中的关键工艺装备。
布里奇曼晶体生长炉
应用于氟化钙、氟化镁、铌酸锂、钽酸锂等光学晶体及碘化钠、碘化铯、锗酸铋等闪烁晶体还可用于生长金属卤化物钙钛矿等新型晶体材料。
单晶炉
应用于生长如钇铝石榴石(YAG)、掺钛蓝宝石等激光晶体和光学窗口的单晶材料,如氟化钙、氟化镁以及新型单晶材料的生长工艺和性能。通过改变生长参数,如温度、压力、气氛等,研究单晶材料的生长机制和性能变化规律,为开发具有特殊物理、化学性质的新材料提供基础,推动材料科学的前沿研究。
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